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手机产品分类0516
RWD 双臂晶圆机器人
基本信息
详细参数
所属分类:
多轴机器人
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特征
软硬件垂直整合优势,并且采用高精密,高刚性直驱马达,重复精度达±0.1mm,回转半径小,空间使用率高。
应用
适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。
关键词:
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RWS 单臂晶圆机器人